兩面兼顧：高性能閥技術(shù)強(qiáng)強(qiáng)結(jié)合95.3 控制和隔離閥組合單元在一個小巧的單元內(nèi)結(jié)合采用兩項最佳閥門技術(shù)。在 95.3 系列中，蝶形控制閥作為節(jié)流閥，與角閥（DN 達(dá) 50 mm (2")）或閘閥（DN 為 63 mm (2.5") 及以上）組合，兼?zhèn)淞说目煽匦院途o密的隔離 (< 1 x 10-9 mbar ls-1)。此組合設(shè)計的優(yōu)勢在于占用空間小，因為它只需要一個控制器就可以控制兩個閥門，并且不需要額外的法蘭和連接器（通常在安裝兩個單獨閥門時需要）。

集成的 32 位 IC2 壓力控制器可快速精準(zhǔn)地控制蝶形閥板位置，通過較大的流導(dǎo)范圍的可控性。該控制器還可以控制集成角閥或集成閘閥的隔離功能。兩個閥門的運動周期可在同一個運動配置文件中同步，以提供順暢的運行以及最佳的控制和隔離功能。組合閥甚至能夠以定義的角度開啟蝶形板，同時隔離閥仍保持閉合，避免關(guān)閉位置出現(xiàn)死區(qū)。

95.3 高真空控制和隔離閥組合單元已經(jīng)安裝在數(shù)千個各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其的可靠性。

95.3 高真空控制和隔離閥組合單元采用不銹鋼（DN 最大為 50 mm）和鋁（DN 為 25-250 mm (1" - 10")）制成，配有 ISO-KF 和 ISO-F 標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接器，可集成客戶法蘭?？筛鶕?jù)要求提供各種全氟橡膠/氟橡膠彈性體（氟橡膠為標(biāo)準(zhǔn)選項）。